真空等離子處理大部分材料的時候,溫度其實是不高的,不過也有部分情況,比如清洗機用來去膠渣,或者處理難以解決的石墨材料,溫度就會變得很高。
去膠渣需要用中頻電源,功率大,能量猛,真空腔里面的離子不斷轟擊電極板,真空腔里面的溫度會直接上升。這種時候需要給真空腔里面加水冷。
另外像石墨這種類型的材料,處理起來比較艱難,為了達(dá)到理想的處理效果,處理一次甚至要達(dá)到30分鐘以上,清洗機由于長時間的工作,里面的溫度也會變得很高,這種情況下也需要加水冷。
清洗機真空腔里面的溫度過度會引發(fā)很多的問題,真空腔里面如果不加水冷溫度會高到幾百度,不僅損壞處理的材料,會使處理的材料變形變色,而且對機器也有不良的影響。如果不帶隔熱手套,手就會被燙傷。那么,
等離子清洗機具體是怎么解決高溫的問題呢?首先需要了解一下清洗機的整個工作過程。
清洗機整個清洗的過程是這樣的,首先把需要清洗的材料放置在真空腔里面,關(guān)上真空腔體門,抽真空到20~100pa,通入反應(yīng)氣體,如氬氣或者氮氣等,電源放電把這些氣體分子激發(fā)打碎變成等離子,等離子受到電源激發(fā)的作用高速運轉(zhuǎn),快速的轟擊材料表面。材料處理完成后,通入壓縮空氣或者氮 氣,破真空,把材料取出來進(jìn)行下一道工藝
如果清洗機用的是射頻電源而且處理的時候不長,大部分材料都在5分鐘左右,甚至更短,那么就不會出現(xiàn)溫度過高的問題,但是刻蝕去膠渣,這種工藝要有的中頻電源,就不一樣,中頻電源頻率40KHZ,比13.56MHZ的射頻電源頻率慢,電源脈沖的頻率慢就意味著能量猛,會導(dǎo)致真空腔體內(nèi)的溫度升高。另外還有就是處理的時間很長,有些材料一次處理就要半小時以上,哪怕用的是射頻電源,也要加水冷。
那么溫度過高的問題具體怎么解決呢?這里就來給大家一起水冷在等離子清洗機上面具體有哪些運用:
真空腔體和電極板的冷卻:
真空腔體和電極板是主要需要降溫的部件,這些部件上面都會安裝溫度傳感器,時時監(jiān)控真空腔里面的溫度,如果溫度過高,就會立即報警停機。
清洗機的反應(yīng)腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質(zhì),電極板基本上采用鋁合金,這兩部分在等離子體處理產(chǎn)品的時候吸收了大量的熱,不加任何配套設(shè)施的情況下,就會以傳導(dǎo)的方式和熱射線的形式散發(fā)給周圍溫度較低的物體,例如機臺緊固件、外殼和低溫空氣中。
改善措施:給電極和反應(yīng)腔室增加冷卻系統(tǒng),例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式,可以大大改善散熱效果。
等離子電源的冷卻:
等離子電源是整臺機器的核心部件,小型的機器功率小,熱量也比較低,但是大型功率高的電源就需要進(jìn)行降溫處理。平時應(yīng)用場景中,大部分的電源是不用降溫的,如果需要降溫一般使用風(fēng)冷,小部分特別的機器需要用到水冷的辦法進(jìn)行降溫。
真空泵的冷卻:
真空泵有油泵和干泵,油泵有油可以進(jìn)行冷卻,干泵在使用的時候,機器結(jié)構(gòu)摩擦?xí)a(chǎn)生很高的溫度,如果不進(jìn)行冷卻就會導(dǎo)致干泵損壞。干泵降溫通常使用水冷卻,在真空泵設(shè)計的時候,就會設(shè)計好。清洗機的真空泵大多從真空泵廠家采購,所以如果真空泵散熱出了問題肯定第一時間找到真空泵廠家
等離子清洗機的冷卻水來源通常有兩個,分別為冷水機供給和用戶端循環(huán)水供給。關(guān)于清洗機主張配單獨的冷水機,以便保護(hù)。
清洗機的冷卻水的溫度一般控制在20-50℃,依據(jù)實踐需要進(jìn)行調(diào)整;壓力一般在0.3-0.5MPa;流量一般在2~7 SLM。不過在實際的運行工作中,每個機器的數(shù)據(jù)會有所不同,這個在機器設(shè)計的時候,都會設(shè)計好相應(yīng)的參數(shù)。
現(xiàn)在清洗機真空腔上面都會安裝溫度傳感器,對機器的溫度實時監(jiān)測,溫度異常會自動報警,機器啟動后,冷卻系統(tǒng)自動運行。